Informace o projektu
Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu

Kód projektu

GA202/00/P037

Období řešení

1/2000 - 1/2002

Investor / Programový rámec / typ projektu

Grantová agentura ČR

Standardní projekty

Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Bude studována plazmochemická depozice ochranných vrstev v různých typech výbojů (vysokofrekvenční kapacitně nebo induktivně vázaný doutnavý výboj za sníženého tlaku, mikrovlnný výboj, bariérový výboj, atmosférický doutnavý výboj APG, plazmová tužka). Půjde především o dva typy aplikací. První z nich je připravení vrstevnatého systému chránícího polykarbonát před mechanickým poškozením a degradací ultrafialovým zářením. Za tímto účelem bude pro depozici vrstev použit některý monomer ze skupiny organosilikonů, např. hexametyldisiloxan. Výsledkem by měla být graduovaná vrstva průhledná ve viditelné oblasti, vykazující dobrou adhezi k polykarbonátu a tvrdost srovnatelnou s tvrdostí skla. Druhou významnou částí výzkumu je studium depozice velmi tvrdých vrstev jako jsou např. amorfní vrstvy diamantového typu (DLC), DLC vrstvy s příměsí křemíku, nanokompozitní vrstvy na bázi CNx a mikrokrystalické diamantové vrstvy.

Publikace

Počet publikací: 21

2003

Dependence of the Normalized Absorbance of the DLC:SiOx Thin Films on the Flow Rate of HMDSO

VALTR Miroslav ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma

Článek ve sborníku

JUNIORMAT 03, rok: 2003
Study of Plasma Polymerization from Acetylene in Pulsed RF Discharges

ZAJÍČKOVÁ Lenka RUDAKOWSKI Siegmar BECKER Hans-Werner MEYER Dirk VALTR Miroslav WIESEMANN Klaus

Článek v odborném periodiku

Thin Solid Films, rok: 2003, ročník: 2003, vydání: 425

2002

Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings

BURŠÍKOVÁ Vilma SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka

Článek v odborném periodiku

Journal of Non-Crystalline Solids, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 299-302
Mode Transition in Low-pressure RF Capacitive Discharge in Nitrogen

DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka

Článek ve sborníku

Europhysics Conference Abstracts 26B, rok: 2002
Optical characterization of diamond like carbon films using multi-sample modification of variable angle spectroscopic ellipsometry

FRANTA Daniel ZAJÍČKOVÁ Lenka OHLÍDAL Ivan JANČA Jan VELTRUSKÁ Kateřina

Článek v odborném periodiku

Diamond and Related Materials, rok: 2002, ročník: 11, vydání: 1
Rf sputtering of composite SiOx/plasma polymer films and their basic properties

CHOUKOUROV A. PIHOSH Y. STELMASHUK V. BIEDERMAN Hynek SLAVÍNSKÁ D. KORMUNDA M. ZAJÍČKOVÁ Lenka

Článek v odborném periodiku

Surface & coatings technology, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 151-152
Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD

BURŠÍKOVÁ Vilma NAVRÁTIL Vladislav ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan

Článek v odborném periodiku

Materials Science and Engineering A, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 324

2001

Deposition of DLC:Si(O) Films in Low Pressure Discharges

ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma PEŘINA Vratislav MACKOVÁ Anna JANČA Jan

Článek ve sborníku

Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
Deposition Process Based on Organosilicon Precursors in Dielectric Barrier Discharges at Atmospheric Pressure - A Comparison

SONNENFELD Axel TUN T. M. ZAJÍČKOVÁ Lenka KOZLOV K. V. WAGNER H.-E. BEHNKE J. F. HIPPLER R.

Článek v odborném periodiku

Plasmas and Polymers, rok: 2001, ročník: 6, vydání: 4
Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy

SUBEDI Deepak Prasad ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan

Článek ve sborníku

WDS'01 Proceedings of Contributed Papers, rok: 2001