Informace o projektu
Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie
- Kód projektu
- GA101/01/1104
- Období řešení
- 1/2001 - 1/2003
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba Ing. Josef Lazar , Dr.
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Miloslav Ohlídal, CSc.
Podstatou navrhovaného projektu je realizace laboratorního vzoru původního zařízení umožňujícího měřit nedestruktivně a bez apriorních předpokladů o studovaném povrchu jeho drsnost v rozsahu desítek nanometrů až desítek mikrometrů s vysokým stupněm obsah u získané informace (lze určit prakticky všechny významné charakteristiky mikrogeometrie povrchu), a to s možností obdržet výsledky s malým časovým odstupem od měření. Navrhované zařízení je laserový interferenční holografický mikroskop originální konstr ukce s laserovým světelným zdrojem o laditelné vlnové délce (laser INN0VA Spectrum 70 a polovodičový laser, jehož verze upravená pro tento účel bude realizována na pracovišti druhého navrhovatele). Ve výstupní rovině tohoto mikroskopu vzniká obrazový hol ogram povrchu, který je přes mikroobjektiv snímán digitální kamerou. Tato procedura je provedena postupně pro dvě volené vlnové délky. Rekonstrukce superponovaných hologramů se provádí v připojeném počítači. Charakteristiky drsnosti povrchu se určují z t
Publikace
Počet publikací: 16
2003
-
Srovnání snímků NSOM a AFM při studiu vybraných objektů
Československý časopis pro fyziku, rok: 2003, ročník: 47, vydání: 6-7s
-
Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films
Ultramicroscopy, rok: 2003, ročník: 94, vydání: 1
2002
-
Analysis of the boundaries of ZrO2 and HfO2 thin films by atomic force microscopy and the combined optical method
Surface and Interface Analysis, rok: 2002, ročník: 34, vydání: 1
-
Applications of atomic force microscopy for thin film boundary measurements
Jemná mechanika a optika, rok: 2002, ročník: 47, vydání: 6-7
-
Characterization of the boundaries of thin films of TiO2 by atomic force microscopy and optical methods
Surface and Interface Analysis, rok: 2002, ročník: 34, vydání: 1
-
Optical characterization of thin films non-uniform in thickness by a multiple-wavelength reflectance method
Surface and Interface Analysis, rok: 2002, ročník: 34, vydání: 1